第一，表面清洗：清洗金屬表面油脂、油污、以及肉眼看不到油脂顆粒等有機物及氧化層。

　　第二，表面刻蝕：通過處理氣體的作用，被刻蝕物會變成氣相排出。

　　第三，表面改性：以聚四氟乙烯（PTFE）為例，在其未做處理的情況下，不能印刷或粘合。

　　使用等離子處理可以使表面最大化，同時在表面形成一個活性層，這樣PTFE就能進行粘合、印刷操作。

　　第四，表面活化：主要用于清理塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯(PE)、聚丙烯（PP）、聚四氟（PTFE）、聚甲醛（POM）、聚苯硫醚(PPS)等無極性材料的。

第五，表面涂鍍：在等離子涂鍍中，兩種氣體同時進入反應艙，氣體在等離子環境下會聚合。這種應用比活化和清洗要求嚴格得多。典型的應用是形成保護膜，用于燃料容器，防刮表層，類似聚四氟（PTFE）材質的涂鍍，防水鍍層等。（分解聚合物）。

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